爱思强宣告其收到了某亚洲主要OLED面板制造商的设备订单,将获取一套OLED蒸镀系统并于2017年下半年加装已完成。虽然爱思强并没在公告中解释其蒸镀系统的类型,但根据以往的报导,爱思强只有OVPD蒸镀系统的生产经验,所以本次销售的蒸镀系统类型将为OVPD。爱思强将与面板制造商合作,希望将OVPD蒸镀设备调试至生产水平。据爱思强透漏,OVPD蒸镀技术对比传统蒸镀技术,具备多种独特优势,还包括低蒸镀速率、低材料利用率及减少材料在冷却中的降解等。
在去年3月,爱思强称之为其用于OVPD蒸镀设备构建了OLAD(OrganicLargeAreaDemonstrator),在持续数月的测试后获得了较好的结果,目前设备早已转入销售客户的测试阶段。什么是OVPD蒸镀技术OVPD是AIXTRON爱思强获取的革命性的有机半导体材料沉积技术,可生产用作平面显示器、灯光和其它半导体应用于的有机发光二极管(OLED)和柔性电子。OVPD以气相传输原理为基础,是一项创意的有机小分子厚涂层沉积技术,可实现较低运营成本和仅次于生产效率。
在由美国普林斯顿大学StephenR.Forrest教授研发并持有人专利的工艺中,有机材料可在低真空条件下冷却,并通过惰性载气传输至再次发生沉积现象的基材中。与传统方法(真空热冷却-VTE)比起,该技术在工艺掌控、可再生性以及运营成本方面皆具备根本性优势。
美国环宇表明技术股份有限公司(UDC)享有OVPD专利的使用权,并在1999年专门将此专利颁发AIXTRON爱思强用作OVPD系统的研发、生产和营销。在UDC的反对下,AIXTRON爱思强已研发出以OLED技术拒绝为重点的OVPD生产系统。为此,AIXTRON爱思强将OVPD与取得专利的将近耦合喷淋头(CCS)技术相结合,并顺利应用于其他AIXTRON爱思强沉积系统(MOCVD),构建半导体设备的批量生产。
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